대기압 플라즈마 (New ver. AP-5000)

대기압 플라즈마 AP-5000

 

 

플라즈마 생성 프로세스

 

 

대기압 플라즈마는 깨끗한 압축공기(유수분이 제거된 5Bar 이상의 압축공기 필요 : CDA 99% 이상)를 장비에 공급해야 하며 고압의 전기를 전극에 흘려 보내면 플라즈마 헤드 내부에서 방전현상이 발생하게 됩니다.

 

방전현상이 생기면 전자는 상대극으로 빠른 속도로 이동을 하게 되는데, 이때 공기를 구성하는 가스분자들과 방출되는 전자의 충돌로 인하여 플라즈마가 발생하게 됩니다. 초기에 만들어진 플라즈마 파티클에 의하여 챔버내부는 급속도로 확산 현상이 이루어 지며 만들어진 플라즈마는 지속적으로 주입되는 공압에 의하여 노즐부분으로 분사가 되어 빔형태로 분출됩니다.

 

주로 친수 표면처리가 필요한 경우 산소 플라즈마의 화하적인 반응효과를 이용하고, 플라즈마의 물리적인 표면처리에는 아르곤 및 질소를 사용하여 플라즈마화 시켜 사용합니다. 특수한 상황에서는 질소가스 100%, 아르곤가스 100%, 포밍가스 (5% H2, 95% N2)를 사용할 수 있으며 이때 수소플라즈마는 금속표면(ex. Cu)의 산화막을 제거하는데 아주 유용합니다.

 

 

 

 

세계 최초로 압축 공기의 흐름과 압력을 터치 스크린으로 확인하고 조절할 수 있어 더욱 안정적인 플라즈마 빔 생성을 가능하게 합니다. 옵션으로 플라즈마 빔 상태를 확인할 수 있는 비전 시스템이 제공되어 다중 노즐을 효과적으로 관리할 수 있으며, 기본적으로 온도 센서를 통해 플라즈마 빔을 식별할 수 있습니다. 특수 설계된 카본 브러시는 마모 한계에 도달하면 교체 신호를 보내며, 청정 환경에서 작업이 필요할 때는 특수 전류 베어링을 적용하여 발생하는 먼지를 최소화할 수 있습니다. 또한 레이저와 자기 센서를 사용하여 rpm을 감지할 수 있습니다.

 

AP-5000 고정형 노즐(좌) / AP-5000R 회전형 노즐 (우)

 

 

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