진공 플라즈마 - Vacuum plasma series

 

테이블탑 진공 플라즈마 AVP-15G-2

진공 플라즈마

AETP의 마이크로웨이브(2.45Ghz) 진공 플라즈마 장비는 일반 RF(13.56Mhz) 진공 플라즈마 장비에 비하여 발생되는 플라즈마 파티클의 밀도가 높고 형성된 플라즈마 파티클들의 등방성이 우수하여 챔버내 쉐도우 현상이 극히 적어 RF와 같은 안테나 역할의 파트가 필요하지 않습니다. 또한 플라즈마표면처리 시 제품의 온도상승이 극히 미비한 것 또한 큰 장점입니다. 저희 AETP의 진공 플라즈마 장비는 고객의 요구 사항에 따라 RF소스, 턴테이블, 로터리 드럼, 가열판, 추가 MFC 등의 다양한 옵션을 선택하실 수 있습니다. 일반적인 표면처리 공정 (유기물 표면 활성화, 무기물 표면 세정)을 위해 별도의 가스를 사용하지 않고 깨끗한 압축공기를 사용하여 진공 플라즈마 처리를 할 수 있도록 기본 MFC가 제공되며 큰 챔버 사이즈와 함께 실용적인 가격에 판매중입니다.

 

 

< RF13.56Mhz= 73.94 nanoseconds per cycle > < MW 2.45 Ghz= 0.408 nanoseconds per cycle >

진공 상태에서는 대기압에 비하여 상대적으로 낮은 에너지로 플라즈마 상태를 만들 수 있어 플라즈마 형성을 위해 진공타입의 챔버를 사용한 장비가 널리 사용 되고 있습니다. 1차로 챔버 내부를 펌프를 이용하여 진공을 만들고 목표 진공도에 도달 한 후, 2차로 운용 가스를 챔버 내부에 넣어줍니다. 지속적인 펌핑과 운용가스의 주입으로 챔버 내부에 안정적인 미압이 형성되는데 이를 공정압력(process pressure)라고 하며 이때 RF(radio frequency) 13.56Mhz 또는 마이크로웨이브(microwave) 2.45Ghz 주파수를 챔버 내에 인가하여 운용 가스를 플라즈마화 합니다.

플라즈마화된 전자와 이온은 확산운동을 통해 챔버내 전체를 플라즈마 상태로 유지시켜 주며 가스의 양과 파장의 세기, 운용 시간에 따라 처리 결과는 달라집니다. 마이크로웨이브는 파장이 더 짧아 RF에 비하여 더 높은 밀도의 플라즈마를 형성 할 수 있고 등방성이 우수하여 고도의 작업을 낮은 온도에서 수행하는데 장점이 있습니다.

 

기술 사양

 

외곽 사이즈	688x623x1742mm (주문 사이즈에 따라 다름)
무게	약 188kg (펌프 미포함) (주문 사이즈에 따라 다름)
챔버 내부 사이즈	500x500x500mm (125ℓ) (주문 사이즈에 따라 다름)
플라즈마 파워	100~1000W (가변타입)
옵션	- 진공펌프(국산) - 턴테이블 - 로터리장치 - 추가 MFC 채널

 

AVP 시리즈

 

http://www.aetp.co.kr

 

AETP

 

제1 캠프 / 1st Camp

강원도 횡성군 서원면 서원로160번길 6-3 <25201>

6-3 Seowon-ro,160beon-gil, Seowon-myeon, Hoengseong-gun, Gangwon-do, Korea <25201>

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제2 캠프 / 2nd Camp

서울 금천구 벚꽃로 24길 26 에이스 하이엔드타워 클래식 920호 AETP <08517>

AETP, #920, Ace high-end tower Classic, 26, Beotkkot-ro 24-gil, Geumcheon-gu, Seoul, Korea <08517>

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제3 캠프 / 3rd Camp

대구시 달서구 성서공단남로 37, (월암동) 성서드림타운 지식산업센터 404호 <42718>

AETP, #404, Seongseo Dreamtown, 37, Seongseogongdannam-ro, Dalseo-gu, Daegu, Korea <42718>

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