대기압 플라즈마 (Air Plasma)
깨끗한 압축공기(유수분이 제거된 5Bar 이상의 압축공기 필요 : CDA 99% 이상)를 장비에 공급해야 하며,
고압의 전기를 전극에 흘려 보내면 플라즈마 헤드 내부에서 방전현상이 발생하게 됩니다.
방전현상이 생기면 전자는 상대극으로 빠른 속도로 이동을 하게 되는데,
이때 공기를 구성하는 가스분자들과 방출되는 전자의 충돌로 인하여 플라즈마가 발생하게 됩니다.
초기에 만들어진 플라즈마 파티클에 의하여 챔버내부는 급속도로 확산 현상이 이루어 지며
만들어진 플라즈마는 지속적으로 주입되는 공압에 의하여 노즐부분으로 분사가 되어 빔형태로 분출됩니다.
공기의 주요성분은 약 78%의 질소, 21%의 산소, 0.9%의 아르곤 입니다.
즉, 저희 장비는 공기와 전기를 가지고 산소플라즈마, 질소플라즈마, 소량의 아르곤 플라즈마를 만들어 내는 장비입니다.
주로 친수 표면처리가 필요한 경우 산소 플라즈마의 화하적인 반응효과를 이용하고,
플라즈마의 물리적인 표면처리에는 아르곤 및 질소를 사용하여 플라즈마화 시켜 사용합니다.
특수한 상황에서는 질소가스 100%, 아르곤가스 100%, 포밍가스 (5% H2, 95% N2)를 사용할 수 있으며
이때 수소플라즈마는 금속표면(ex. Cu)의 산화막을 제거하는데 아주 유용합니다.
AETP
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