리모트 플라즈마 Remote Plasma

 

리모트 플라즈마

 

 

리모트 플라즈마 : Ar타입

Remote Plasma : Ar

 

ARP 시리즈는 선형의 플라즈마 특수 전극을 이용하여 최대 2200mm 까지 단일형으로 제작 가능하며,

병렬로 연결 하여 더 넓은 면적의 제품처리가 가능합니다.

대기압하에서 운용이 가능하며, 낮은 열발생으로 인하여 민감한 소재의 표면 처리가 가능합니다.

균일한 플라즈마 형성이 가능하고, 미세 파티클 형성이 없습니다.

캐리어 가스인 아르곤의 사용량을 줄여 운용비용을 절감하였고, 반응가스인 산소를 MFC 유닛을 이용하여 정밀하게 제어합니다.

 

입력전원	220V AC단상, 1000W이하(전극폭에 따라 변동)
운전환경	상온 상압
Width of Plasma	10mm / 20mm
RF Power Frequency	13.56MHz (Direct Glow 방전)
플라즈마 헤드 냉각	별도 칠러 필요(옵션)
캐리어 가스	Ar (10L/min)@300mm전극기준
반응 가스	O₂ (50 SCCM)@ 300mm 전극기준 CDA (50 SCCM)

 

 

웨이퍼 클리너 / 바이오센서 표면활성화

 

 

 

 

http://www.aetpworld.com

제1 캠프 / 1st Camp

강원도 횡성군 서원면 서원로160번길 6-3 <25201>

6-3 Seowon-ro,160beon-gil, Seowon-myeon, Hoengseong-gun, Gangwon-do, Korea <25201>

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제2 캠프 / 2nd Camp

서울 금천구 벚꽃로 24길 26 에이스 하이엔드타워 클래식 920호 AETP <08517>

AETP, #920, Ace high-end tower Classic, 26, Beotkkot-ro 24-gil, Geumcheon-gu, Seoul, Korea <08517>

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제3 캠프 / 3rd Camp

대구시 달서구 성서공단남로 37, (월암동) 성서드림타운 지식산업센터 404호 <42718>

AETP, #404, Seongseo Dreamtown, 37, Seongseogongdannam-ro, Dalseo-gu, Daegu, Korea <42718>

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